Mikro- ja nanoelektroonika
Kirjeldus
Mikro- ja nanomeetriliste elektroonikakomponentide tootmine vajab spetsiaalseid keemiatooteid. Nende näideteks on keemiline auru ladestamine (CVD), keemiline lahuste ladestamine (Sol-Gel), aatomi kihi ladestamine (ALD), litograafia ja nanoskeemi söövitamine. See teadusharu kasutab ka elektroonilisi kemikaale nagu puhtad happed ja solvendid, gaasid, söövitid, puhtad elemendid ning kristalli substraadid.
Tüübid
electroonilised ainedelektroonilised kemikaalidMikroelektroonikaNanoelektroonika
